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专利名称一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及制备方法
申请日2019-06-26
申请号/专利号CN201910562431.X
专利权人西安交通大学
申请人西安交通大学
发明人/设计人李强;张启凡;秦潇;云峰
公告日2019-09-10
公告号CN110221369A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供了一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及方法,布拉格反射镜包括衬底,衬底表面设有S个薄膜周期结构,S为整数且S≥1;薄膜周期结构包括BN低折射率层和设置在BN低折射率层上的BAlN高折射率层;制备布拉格反射镜的方法:(1)将干净衬底放入腔室内加热;(2)只开启BN靶材电源,在衬底表面溅射一层BN薄膜;(3)保持BN靶材电源功率不变,开启Al靶材电源,溅射一层BAlN薄膜;(4)S>1时,重复步骤(2)、(3),实现具有多个薄膜周期结构的布拉格反射镜的制备。制备方法简单,薄膜平整度高,可以制备多个薄膜周期结构的布拉格反射镜,并且可以实现大面积产业化制备。
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