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专利名称一种二氧化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法
申请日2019-06-25
申请号/专利号CN201910564071.7
专利权人镇江爱豪科思电子科技有限公司
申请人镇江爱豪科思电子科技有限公司
发明人/设计人黄颖璞;黄清伟
公告日2019-09-20
公告号CN110261949A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种二氧化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法。红外滤光片基底材料选用单晶Si;高折射率材料选用Ge;低折射率材料选用SiO。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜。采用真空热蒸发薄膜沉积的方法制备镀膜层,Ge选用电子束蒸镀,沉积速率为SiO选用多孔钼舟电热蒸镀,沉积速率为开始蒸镀真空度为1.0×10‑3Pa,沉积温度为200℃。所述红外滤光片具有中心波长为7300nm的窄带透过光谱,透射带的上升沿和下降沿陡峭,波形矩形度好,峰值透过率>85%、截止区域内截止深度<0.5%,可取得优异的信噪比,提高仪器的测试灵敏度和精度。
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