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专利名称一种基于红外吸收涂层的红外探测器及其制备方法
申请日2019-06-25
申请号/专利号CN201910551809.6
专利权人镇江爱豪科思电子科技有限公司
申请人镇江爱豪科思电子科技有限公司
发明人/设计人侯海港;黄清伟
公告日2019-09-03
公告号CN110196104A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种基于红外吸收涂层的红外探测器及其制备方法。红外探测器第一部分为光学吸收部分,包括第一吸收涂层;第二部分为热电部分,包括第一SiO2层,第二Al层,第三SiO2层以及第四N型多晶硅层。第三部分为支撑层部分,包括SiO2层。将制备出的基于纳米碳附载珊瑚状结构的吸收涂层,引入到非制冷热电堆红外探测器上,光线在这种纳米碳附载珊瑚状结构中多次反射与折射,形成具有宽光谱吸收、高吸收率等红外吸收特性。第二热电部分,第二Al层为热电偶,同时也作为中心吸收区域的一部分构成反射层,形成光线干涉,增强涂层的吸收,在3‑14μm波段的平均红外吸收率高达90%以上,提高探测器响应率及探测率。
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