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专利名称偏转反射镜装置
申请日2019-06-25
申请号/专利号CN201910551875.3
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人徐宁
公告日2019-09-10
公告号CN110221426A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种偏转反射镜装置,包括反射镜、镜座、基板、第一弹性元件、第二弹性元件、第一磁性件、第二磁性元件、补偿板、基座及位移传感器;反射镜固定于镜座内,镜座安装于基板的一侧,第一弹性件及第一磁性元件安装于基板与镜座相背的一侧上;基板与镜座相背的一侧通过第一弹性元件安装于基座的一端,补偿板通过第二弹性件安装于基座另一端,第二磁性元件安装于基板与第二弹性件的同一侧上,第二磁性件与第一磁性件之间能够产生磁场且相互滑动配合;位移传感器安装于基座上。反射镜及基板在第一磁性件的驱动力下进行偏转运动时,补偿板在第二磁性件的反作用力驱动下以相同的频率和幅值朝相反的方向进行偏转运动,从而抵消反射镜偏转的反作用力。
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