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专利名称一种超大幅面紫外激光远心镜头
申请日2019-06-18
申请号/专利号CN201910528150.2
专利权人卡门哈斯激光科技(苏州)有限公司
申请人卡门哈斯激光科技(苏州)有限公司
发明人/设计人周志凯;贾成真;徐海锋;阳九林
公告日2019-08-27
公告号CN110174753A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种超大幅面紫外激光远心镜头,包括镜筒和安装在镜筒内的透镜,所述透镜沿光轴由物侧至像侧依次排列第一双凹透镜、第二弯月透镜、第三弯月透镜、第四双凸透镜和第五平凸透镜,所述第一双凹透镜的焦距f1与远心镜头总焦距f满足关系式:‑1.8<f1/f<‑2.0,第二弯月透镜的焦距f2与远心镜头总焦距f满足关系式:‑2.0<f2/f<‑3.0,第三弯月透镜的焦距f3与远心镜头总焦距f满足关系式:+1.6<f3/f<+2.2,第四双凸透镜的焦距f4与远心镜头总焦距f满足关系式:+3.1<f4/f<+3.3,第五平凸透镜的焦距f5与远心镜头总焦距f满足关系式:+2.5<f5/f<+2.7。本发明具有355nm的波长以及300mm的总焦距,本远心镜头可实现激光束垂直于工作面聚焦。
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