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专利名称 | 基于垂直狭缝结构的环境温度无关氮化硅微环滤波芯片 |
申请日 | 2019-06-17 |
申请号/专利号 | CN201910521721.X |
专利权人 | 上海理工大学 |
申请人 | 上海理工大学 |
发明人/设计人 | 冯吉军;刘晓腾;张福领;曾和平 |
公告日 | 2019-09-20 |
公告号 | CN110261958A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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