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专利名称基于超结构浮雕光栅的AR眼镜波导
申请日2019-06-17
申请号/专利号CN201920905137.X
专利权人杭州光粒科技有限公司
申请人杭州光粒科技有限公司
发明人/设计人魏一振;杨培培;张卓鹏;陈达如
公告日2019-12-13
公告号CN209784584U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型涉及一种基于超结构浮雕光栅的AR眼镜波导。该AR眼镜波导由基于超结构浮雕光栅通过金属模板压膜而成,所述的超结构浮雕光栅包括基板和涂覆在基板上的聚合物,所述的聚合物上形成有多个由垂直激光刻蚀而成的周期性单元,每个周期性单元中包括多个小周期结构,每个小周期结构中未刻蚀区域宽度为a,刻蚀区域宽度为b,刻蚀区域的深度为Hi;其中Hi先线性增加,后保持一个常数。本实用新型通过引入小周期结构,采用半个大周期单元内,小周期结构刻蚀深度线性增加,另外半个大周期单元内,小周期结构内刻蚀深度维持不变。所有刻蚀采用垂直刻蚀,没有斜角度刻蚀,避免了斜角度刻蚀的工艺难度,便于大批量生产,也减少成本等优点。
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