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专利名称 | 一种降低两轴快速反射镜中X轴和Y轴耦合的控制方法 |
申请日 | 2019-06-14 |
申请号/专利号 | CN201910516390.0 |
专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
申请人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
发明人/设计人 | 苏秀琴;王瑞;吕涛;乔永明;杨露露;贺丽琳 |
公告日 | 2019-10-22 |
公告号 | CN110361827A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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