本发明属于半导体领域，涉及一种直角检测调节系统，包括激光器、激光接收屏、反射镜、载盘、旋转机构、移动装置以及用于调整晶圆并使其与所述反射镜垂直的调节机构；激光器、激光接收屏和旋转机构设置于水平工作台上；移动装置和反射镜均设置于旋转机构上。本发明还提供一种直角检测调节方法，1）将晶圆固定到载盘上，转动旋转台直至激光接收屏上的反射光与入射光重合；2）再水平旋转45度，读取激光接收屏上激光光斑的实际位置，判断晶圆与反射镜是否垂直；不垂直时，调节位于载盘两侧的调节螺母，直至晶圆与反射镜垂直。本发明的直角检测调节系统及方法可以检测晶圆与反射镜是否垂直，还可以调整晶圆使整个晶圆与反射镜垂直。