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专利名称一种轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法
申请日2019-06-06
申请号/专利号CN201910491942.7
专利权人西安交通大学
申请人西安交通大学
发明人/设计人蒋维涛;刘红忠;王赫男;牛东;雷彪
公告日2019-08-20
公告号CN110146977A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法,变形镜包括镜面层,镜面层上侧镀有反射镀膜层,镜面层下方粘接有活性层,活性层上下两侧分别覆盖有上电极层和下电极层,反射镀膜层、镜面层、覆盖有电极层的活性层构成变形镜本体,变形镜本体通过夹持组件固定,上电极层和下电极层通过电极引线与外电源连接;制造方法是将镜面层刻出扇形阵列凹槽;再将上电极层溅射在镜面层下侧,将压电复合材料铺在上电极层的下侧;然后将下电极层溅射在活性层下侧,将下电极层刻成图案化电极;最后将反射镀膜层溅射在镜面层上侧,然后将电极引线连接在上电极层和下电极层上;本发明减轻变形镜的质量、降低制造成本、改善初始面形、提高工作精度和像差补偿能力。
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