本发明公开了一种防止干刻下电极表面玻璃基板背刮的结构及其制备方法，包括介质层和玻璃基板，所述结构还包括设于介质层与玻璃基板之间用于降低接触硬度的复合层。本发明在传统下电极介质层上增加了Y2O3和Al2O3复合层，将表面硬度控制在HV300～500范围内，涂层硬度随着Y2O3含量增加而降低，使得下电极表面硬度低于玻璃硬度，有效的防止了玻璃背部刮痕和凹坑的而出现。