本发明提供一种阵列基板的其制作方法，包括：形成第一导电层，图案化第一导电层，形成多个第一器件部和多个连接部，多个连接部将多个第一器件部相互连接在一起；在图案化的第一导电层上层形成绝缘层，图案化绝缘层形成断开孔，断开孔位于连接部上；在图案化的绝缘层上层形成第二导电层，第二导电层还形成在断开孔中；图案化第二导电层，形成多个第二器件部，同时去除断开孔中的第二导电层和断开孔下的连接部。在本发明中，在形成位于多个第一器件部的同时，还形成多个将第一器件部相互连接在一起的连接部，使得多个第一器件部都是同一电位，不存在压差，不会发生彼此间的静电放电，避免了第一器件部的静电损伤。