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专利名称 | 用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置 |
申请日 | 2019-05-31 |
申请号/专利号 | CN201920818267.X |
专利权人 | 中国计量科学研究院 |
申请人 | 中国计量科学研究院 |
发明人/设计人 | 李琪;高思田;李伟;施玉书;黄鹭;黎雄威;李适;张树 |
公告日 | 2020-01-17 |
公告号 | CN209962001U |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 实用新型 |
行业分类 |
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