本发明公开了一种基于快速扫描的激光光束匀光整形消散斑装置及方法，属于显微技术领域，包括光源、MEMS微镜、方棒或者方形光纤、MEMS微镜驱动控制器和计算机；MEMS微镜使光源发出的激光光束在方棒或者方形光纤的入射端面进行扫描；方棒或者方形光纤接受其入射端面的光束并发生全反射，最后将光束从方棒或者方形光纤的出射端面射出；计算机用于产生MEMS控制信号送于MEMS微镜驱动控制器。使用快速扫描设备MEMS微镜，使激光在小范围内快速扫描，使多个不相干的衍射场在视觉积分时间内高速叠加，从而降低相干性和消除散斑；扫描光束通过方棒或者方形光纤匀光，使光束的均匀度提升。解决了激光相干性好而导致形成干涉和衍射造成散斑的问题和激光强度不均匀的问题。