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专利名称 | 一种微影玻璃薄化的方法及其控制系统 |
申请日 | 2019-05-20 |
申请号/专利号 | CN201910418416.8 |
专利权人 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
申请人 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
发明人/设计人 | 汪直超;蔡在秉;李彦泽;金明光;邓强;陈仲仁;李德全;何崇嘉;吴智坤;刘云 |
公告日 | 2019-09-13 |
公告号 | CN110231725A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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