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专利名称一种基于多角度光谱测量的短波通滤光膜制备方法
申请日2019-04-16
申请号/专利号CN201910304630.0
专利权人河南平原光电有限公司
申请人河南平原光电有限公司
发明人/设计人张金豹;耿浩;史成浡;孙亚威;刘明涛;张恒华;王明慧;田军;孟凌霄
公告日2019-07-26
公告号CN110058343A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种基于多角度光谱测量的短波通滤光膜制备方法,属于光学薄膜技术领域,解决了现有技术膜层厚度控制误差的修正比较困难的问题。该方法包括如下步骤:在光学基板上N次交替镀制低折射率膜层、高折射率膜层;对镀制后结构进行多角度光谱测试,获得光谱曲线,所述光谱曲线为各入射角度下入射光波长与镀制后结构光谱透射率的关系曲线;根据所述光谱曲线反演获得每次镀制的低折射率膜层、高折射率膜层的实际厚度误差;根据上述低折射率膜层、高折射率膜层的实际厚度误差,在光学基板上进行重新交替镀制低折射率膜层、高折射率膜层,直至获得光谱曲线平坦变化的短波通滤光膜。该方法操作容易,易于推广使用。
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