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专利名称一种游离磨料电磨削多线切割用切削液
申请日2014-03-28
申请号/专利号CN201410120486.2
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人汪炜;鲍官培;章恺;刘正埙;黄因慧
公告日2016-08-17
公告号CN104087368B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供了一种游离磨料电磨削多线切割用切削液,属于半导体切割加工领域,主要组成有聚乙二醇、乙二醇、防锈剂、pH值调节剂、能微溶于聚乙二醇或溶于乙二醇的电解质,其组成质量份数为:聚乙二醇(分子量200~400)80~90份,乙二醇5~10份,防锈剂1~2份,pH值调节剂1~5份,电解质0.1~1份。其中,乙二醇作为本切削液的关键成分,能提高切削液中电解质的溶解量,提高电导率和离子含量。本发明的切削液无毒无异味、不挥发、不易燃、化学性能稳定、无腐蚀性,主要用于硅片等半导体材料的多线切割,具有携载能力强、分散性好、散热性好、润滑性好、易清洗等特点。
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