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专利名称平面三自由度压电驱动平台及其运动驱动方法
申请日2014-03-28
申请号/专利号CN201410123826.7
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人张泉;章洪轩;季瑞南;金家楣;王亮
公告日2015-10-28
公告号CN103912766B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种平面三自由度压电驱动平台及其运动驱动方法,属于精密驱动技术领域。包括功能平台、压电驱动模块、弹性板和静平台,所述功能平台用于承载定位物体并与压电驱动模块连接;所述压电驱动模块包括2个压电叠堆、位移放大机构、连接板、固定螺栓以及预紧力螺栓;所述弹性板通过固定螺栓与压电驱动模块连接;所述静平台作为弹性板的支撑平台,设置在弹性板下方。通过对设置在弹性板上的组呈正方形排列的压电驱动模块分别施加特定的驱动信号,可在弹性板上激发出不同方向运行的行波,从而实现功能平台的三自由度的运动。本发明避免了传统机械式传动引入的铰链间隙等误差,可实现大行程、高精度的定位目标。
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