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专利名称石墨烯H型狭缝波导偏振无关电光调制器结构设计
申请日2019-04-10
申请号/专利号CN201910285130.7
专利权人电子科技大学
申请人电子科技大学
发明人/设计人张晓霞;姬月华;李顺
公告日2019-06-11
公告号CN109870832A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开一种石墨烯H型狭缝波导偏振无关电光调制器结构,该结构包括衬底层、形成于所述衬底上的石墨烯H型狭缝光波导结构和电极结构;所述衬底上的双层石墨烯H型狭缝光波导结构由第一高折射率材料层、第二高折射率材料层、第三高折射率材料层、第四高折射率材料层、低折射率材料层组成的H型狭缝、顶端双层石墨烯、底端双层石墨烯组成;每个双层石墨烯结构均由三层绝缘材料将两层石墨烯隔开。本发明实施例中,光波导将TM和TE模的模场分别限制在水平狭缝和两个竖直狭缝区域,增强了石墨烯与光的相互作用,提高了调制器的调制速率,可以有效调控波导中的有效折射率变化,实现对光场相位的动态调谐,且TM和TE模变化一致,实现了偏振无关调制。
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