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专利名称一种具有真空吸附与加热功能的载物台
申请日2019-04-10
申请号/专利号CN201920478925.5
专利权人无锡费曼科技有限公司
申请人无锡费曼科技有限公司
发明人/设计人唐阳;江岚;王健;余慧;于葛亮
公告日2020-02-07
公告号CN210038322U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型提供一种具有真空吸附与加热功能的载物台,包括加热台以及压板,所述加热台上部中央设有吸附孔、内部开有L型通道且所述吸附孔通过所述通道与设置于加热台侧部的耐高温接头连通;所述加热台底部设置有压板卡槽,所述压板卡槽内设有加热片槽以放置加热片,所述压板卡入压板卡槽用以固定加热片。本实用新型结构简单,设计合理,整合了真空吸附与加热的功能,具有体积小、易于实验操作的特点,解决了现有仪器不适用于小面积硅片以及现有显微镜平台不能同时对样片进行真空吸附与加热的问题。
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