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专利名称破片检测装置及破片检测方法
申请日2019-02-26
申请号/专利号CN201910143077.7
专利权人深圳市华星光电技术有限公司
申请人深圳市华星光电技术有限公司
发明人/设计人杨洋;梁基惠;黄伟
公告日2019-04-16
公告号CN109633951A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种破片检测装置及破片检测方法。该破片检测装置包括:运送单元、第一检测单元、第二检测单元及控制单元,所述运送单元、第一检测单元及第二检测单元均与所述控制单元电性连接;所述第一检测单元和第二检测单元间隔设置,且所述第一检测单元和第二检测单元均为沿第一方向延伸的条状,所述运送单元能带动基板沿不同于第一方向的第二方向穿越所述第一检测单元和第二检测单元之间的区域,使得条状的第一检测单元和第二检测单元能对所述基板表面进行整面扫描,以实现破片检测,从而提升破片检测的全面性和准确率,避免因破片造成机台损伤。
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