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专利名称一种金属-石墨烯混合集成电极
申请日2019-02-26
申请号/专利号CN201910140599.1
专利权人电子科技大学
申请人电子科技大学
发明人/设计人陈开鑫;王梦柯;李学鹏;李俊慧
公告日2019-04-23
公告号CN109669282A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种金属‑石墨烯混合集成电极,包括敷设在光波导表面的石墨烯层、及设置在所述石墨烯层表面的金属电极;所述金属电极包括至少两个单根电极,各个单根电极呈一定间距排列在所述石墨烯层表面,且相邻两个单根电极之间的石墨烯层通过刻蚀处理形成一定宽度的间断。本发明通过在金属电极与光波导之间设置石墨烯层,构成金属‑石墨烯混合集成电极;该电极结构新颖、制作工艺简单、易于实现,并且充分发挥了金属和石墨烯两种材料的优势,在保证电光器件宽带工作的前提下,可实现驱动电压的显著降低,使得本发明具有广泛的应用前景。
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