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专利名称真空干燥装置及真空干燥方法
申请日2019-02-21
申请号/专利号CN201910130466.6
专利权人深圳市华星光电技术有限公司
申请人深圳市华星光电技术有限公司
发明人/设计人汪明建;徐凯;区炜锋
公告日2019-06-11
公告号CN109865650A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种真空干燥装置及真空干燥方法。该真空干燥装置包括腔室以及设于所述腔室中的多个支撑杆,所述支撑杆用于支撑液晶母板,所述液晶母板包括多个间隔设置的液晶面板以及包围每个液晶面板的外围区域,所述多个支撑杆包括对应支撑液晶面板的多个第一支撑杆以及对应支撑外围区域的多个第二支撑杆,提高支撑杆的数量以降低液晶母板在每一个支撑点位受到的压强,避免液晶母板在真空干燥时单点受力过大而导致形成Mura,并且针对同一尺寸的液晶母板生产不同尺寸的液晶面板时,不需要切换支撑杆排布方式,以一种通用的支撑杆排布方式满足所有尺寸的液晶面板的生产,提高产能。
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