一种基于硅‑相变材料混合集成的多级光衰减器，是在绝缘体硅平台上刻蚀形成硅波导,并在硅波导有源区域进行掺杂，形成掺杂硅波导,再在掺杂硅波导顶部的部分区域沉积相变材料层和保护层,结构整体上覆盖一定厚度的上包层，掺杂硅波导的两侧区域通过通孔与位于上包层外的阳极和阴极金属平板相连接构成。相对于传统的热光和电光衰减单元，本发明将相变材料与传统波导相结合构成的基于复合波导的超紧凑型光衰减器，通过控制电脉冲的数量和功率来控制相变材料的相变程度，实现多级光衰减，具有数字式调节、功耗低、集成度高等特点。