本实用新型公开了一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，属于光学设备领域，其技术方案要点是，一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，包括固定组件、移动光栅组件和固定光栅组件，所述固定组件包括上固定板、下固定板、上散热片和下散热片，所述上固定板位于所述下固定板的上方；通过若干个上散热片和下散热片可将激光散发的热量进行吸收扩散，且在上散热片和下散热片开设有若干个透气孔，使得气流便于流动，提高设备性能，在透光块的一周固定连接有遮光板，在透光块透光时可有效防止激光扩散，降低激光的损耗，在透光块不透光时，可将激光进行有效的隔离，防止出现漏光的现象，进一步提升设备的稳定性及精度。