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专利名称一种降低摇摆运动的电磁驱动振镜
申请日2019-02-01
申请号/专利号CN201910104795.3
专利权人西安知微传感技术有限公司
申请人西安知微传感技术有限公司
发明人/设计人宋秀敏;夏长锋;游桥明;乔大勇;何伟
公告日2019-04-26
公告号CN109683308A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明属于微光机电领域,具体涉及降低摇摆运动的电磁驱动振镜,包括电磁振镜芯片、结构体及驱动磁路;结构体用于固定电磁振镜芯片及驱动磁路;电磁振镜芯片包括可动结构、扭转梁及固定框架,可动结构通过扭转梁固定在固定框架上;驱动磁路用于驱动可动结构运动;可动结构包括可动镜面及设置在可动镜面反面的磁性材料;定义可动镜面位于水平位置时,可动镜面上表面中心为原点,Z轴垂直于可动镜面;可动结构重心在Z轴上,且可动结构重心Z向坐标与扭转梁Z向中心坐标相同。通过匹配振镜扭转梁与振镜重心的位置,减小振镜扭转梁与振镜重心的偏离程度,降低了振镜摇摆运动。
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