本发明公开了一种基于DSP机器视觉的太阳能硅片表面检测装置，属于无损检测技术领域。包括机器视觉模块、工控模块、自动分拣模块和传输带装置，机器视觉模块由第一摄像装置、第二摄像装置和DSP板卡连接组成；自动分拣模块为PLC和并联机器人组成；DSP板卡、PLC均与工控模块连接；第一摄像装置、并联机器人设置在传输带装置的上方，第二摄像装置设置在传输带装置的下方。本发明还公开了一种基于DSP机器视觉的太阳能硅片表面检测方法。通过机器视觉模块来完成图像采集和分析处理任务，减轻了工控模块的负担，提高检测速度和分级准确率；采用并联机器人实现分拣，提高了分拣效率和准确率。