本发明公开一种利用低温等离子体与催化剂的协同作用净化餐饮油烟所含颗粒物和挥发性有机化合物的方法与装置。该方法让油烟依次通过低温等离子体反应区和催化反应区，油烟所含挥发性有机化合物在低温等离子体反应区被部分氧化，并在催化反应区进一步被氧化。在低温等离子体反应区的前段，交替布置的正负极性高压放电使油烟所含颗粒物分离去除或荷电；在低温等离子体反应区的过渡段，带正电荷和负电荷的颗粒相互靠近并凝并长大；在低温等离子体反应区的后段颗粒继续凝并长大被捕集分离。本发明增加了高效净化挥发性有机化合物功能；去除油烟所含颗粒物的效率更高；可实现常温运行，抗玷污能力强，特别适用于各类食堂、酒店和宾馆等公共场所的餐饮油烟处理。