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专利名称激光整形反射镜及激光整形装置
申请日2019-01-26
申请号/专利号CN201920134033.3
专利权人江苏先河激光研究院有限公司;华中科技大学
申请人江苏先河激光研究院有限公司;华中科技大学
发明人/设计人秦应雄;李玫瑰;刘晓东;段光前;赵侠
公告日2019-11-05
公告号CN209590420U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型涉及一种激光整形反射镜及激光整形装置,包括反射镜本体,所述反射镜本体的反射面为环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型,反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。其能量利用率高,且本专利的激光整形反射镜或激光整形装置输出的环状光场分布经锥面聚焦可以输出的近似贝塞尔光束的中心光斑大小和光强基本不变,以利于进行激光微加工,尤其是对大深径比材料的激光微加工。
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