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专利名称一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法
申请日2019-01-25
申请号/专利号CN201910070805.6
专利权人山东大学
申请人山东大学
发明人/设计人刘兆军;李文睿;秦增光;关晨;丛振华;张行愚
公告日2019-04-05
公告号CN109581653A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法,属于微机电领域,该驱动器包括可动部分、固定梳子、固定锚点和基底层,可动部分包括径向衍架、弧向衍架、可动梳子和弹性梁,固定梳子与可动梳子成对交叉分布,可动梳齿和固定梳齿均为突出梳齿。与现有技术相比,本发明采用了突出梳齿结构,该梳齿前后宽度不相同,施加电压后,前端较窄的梳齿将插入比梳齿略宽的间距中,梳齿间间距更小;梳齿的前端与后端分别形成了不同的静电驱动器,即在相同的结构长度中,可以设置更多对梳齿用于驱动,均有助于减小电压,可应用于外腔可调谐激光器,可以安装上或者将侧面制造成光栅或者平面镜,实现激光器的无跳模调谐。
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