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专利名称用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置
申请日2019-01-24
申请号/专利号CN201920122059.6
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人中国科学院西安光学精密机械研究所
发明人/设计人强鹏飞;盛立志;闫永清;李林森;刘哲;周晓红;刘永安;赵宝升
公告日2019-09-20
公告号CN209417440U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求,保证较高的装调精度,本实用新型提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组;光学平台置于激光器上方;转台位于光学平台上方;第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上,中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架,第一五棱镜调节架固定设置在转台上;装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架,第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上;参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架,第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。
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