本发明提供一种掩膜板外侧部件，所述掩膜板外侧部件用于制作彩膜基板的彩膜，所述彩膜基板包括像素区和位于所述像素区至少一侧的虚拟区，所述掩膜板外侧部件包括遮光层和形成在遮光层中的透光图形，所述透光图形包括像素透光图形和虚拟透光图形，其中，所述虚拟透光图形包括位于所述像素透光图形至少一侧的第一虚拟透光图形和位于所述第一虚拟透光图形外侧的至少一个第二虚拟透光图形，所述第二虚拟透光图形包括多个虚拟图形单元，所述虚拟图形单元的面积与该虚拟图形单元对应的第一虚拟透光图形的一侧的距离反相关。本发明还提供一种掩膜板组件、一种彩膜基板和一种彩膜基板的制造方法。所述彩膜基板破膜率较低。