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专利名称投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法
申请日2019-01-24
申请号/专利号CN201910065482.1
专利权人佳能株式会社
申请人佳能株式会社
发明人/设计人池本尚司
公告日2019-08-06
公告号CN110095946A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法。投影光学系统,具有:第1光学系统,配置于物面与第1平面镜之间,校正与被定义为铅直方向的第1方向正交的第2方向的投影光学系统的倍率;第2光学系统,配置于第2平面镜与像面之间,校正与第1方向及第2方向正交的第3方向的投影光学系统的倍率,第1光学系统包括沿着第1方向排列的在第2方向及第3方向具有不同光焦度的第1透镜及第2透镜,第2光学系统包括沿第1方向排列的在第2方向及第3方向具有不同光焦度的第3透镜及第4透镜,还具有:第1旋转部,使第1透镜及第2透镜一方绕与第1方向平行的第1轴旋转;第2旋转部,使第3透镜及第4透镜一方绕与第1方向平行的第2轴旋转。
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