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专利名称一种三维压电矢量水听器微结构
申请日2014-01-15
申请号/专利号CN201410017301.5
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人蒋永刚;孙秀娟;张德远
公告日2017-01-04
公告号CN103759809B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种三维压电矢量水听器微结构,它包括用于感知水流信号大小和方位的敏感单元;该敏感单元呈⊥形状,包含弹性模量较小的衬底(5),其上为具有双面电极的压电材料阵列和位于压电材料阵列中心的竖直微柱(1),该压电材料阵列由上而下包括上电极(2)、压电材料层(3)和底部电极(4);该竖直微柱(1)是圆柱形状,其根部与压电材料结合,该上电极图形化分离或者上电极和压电材料层都图形化分离,成为“田”字形阵列,能输四个信号;若压电材料层分离,则四个信号各自独立;当有水流冲击时,竖直微圆柱感应冲击力发生变形,此时压电材料将会输出电压信号。本发明是单片集成,具有高灵敏度、低功耗、易于微型化的优点。
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