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专利名称一种可见光宽波段吸收器及其制作方法
申请日2019-01-22
申请号/专利号CN201910055998.8
专利权人西北工业大学
申请人西北工业大学
发明人/设计人虞益挺;赵建村
公告日2019-07-12
公告号CN110007381A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种可见光宽波段吸收器及其制作方法,属于集成光电子领域,主要涉及结构‑光场调控技术、光谱技术、纳米加工技术等。该器件主要包括基底3,置于基底3上的光刻胶周期性纳米结构2,以及沉积于两者之上的可见光高吸收材料层1。基底3为吸收器结构提供刚性支撑;周期性纳米结构2为增强共振吸收提供条件;高吸收材料介质层1可增强电磁共振能量吸收,在可见光范围内,折射率虚部系数k>4的材料对入射光具有很高的吸收效率;高吸收材料侧壁1‑2可进一步将入射光局域在微纳结构内部,提高吸收效率;通过优化周期性纳米结构的几何尺寸,可以实现对可见光范围内的宽波段完美吸收,吸收率高达90%以上,覆盖整个可见光范围,且具有偏振无关、入射角不敏感等特性。
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