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专利名称一种红外滤光片及其制备方法
申请日2019-01-18
申请号/专利号CN201910048918.6
专利权人营口艾德玛科技有限公司
申请人营口艾德玛科技有限公司
发明人/设计人邓杨;李春辉;刘浩哲;刘生利;谢启浩
公告日2019-04-05
公告号CN109581563A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种红外滤光片及其制备方法,红外滤光片包括红外基底,在红外基底的至少一个表面上设置有镀膜层,镀膜层包括依次交替叠加的锗层和类金刚石膜层,其中,镀膜层与红外基底接触的为锗层,镀膜层的最外层为类金刚石膜层。制作红外滤光片的方法,包括以下步骤:步骤一:基片清洗;步骤二:进行锗层和类金刚石膜层的交替沉积。本发明采用新型材料类金刚石膜DLC直接和高折锗材料进行红外增透减反膜设计和镀膜加工,减少了传统膜层层数和厚度,同时通过两种材料的交替镀膜,以及应力的抵消设计,解决了DLC与基底附着力差的问题,也解决了红外窗口不耐摩擦、刮伤,不耐酸碱等亟待解决的问题。
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