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专利名称一种闭锁式MOEMS引信保险机构
申请日2019-01-15
申请号/专利号CN201910035451.1
专利权人西安交通大学
申请人西安交通大学
发明人/设计人刘加凯;赵玉龙;李娜;赵法栋;张君善
公告日2019-05-14
公告号CN109751929A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种闭锁式MOEMS引信保险机构,采取直接耦合式光纤光路、V型电热驱动器和弹簧‑梭结构、可恢复闭锁机构和U型电热驱动器相结合的一体化设计方案,在一块SOI基板上加工而成;直接耦合式光纤光路包括上下配合的能量输入光纤和能量输出光纤;V型电热驱动器和弹簧‑梭结构共同作用驱动能量输入光纤与能量输出光纤实现错位与对准,从而控制光纤光路的“通”和“断”,本发明提高引信保险机构状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,实现微小体积条件下引信保险机构更高的功能集成度,提高引信的智能化与灵巧化水平。
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