本发明提供的一种基于NV?色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法，包括信号调理电路板、雪崩光电二极管（APD）、垂直腔面发射激光器（VCSEL）、制作于绝缘衬底上的硅材料（SOI）上的NV?色心金刚石—MEMS混合结构和滤波片；结合了NV?色心金刚石自旋陀螺仪和MEMS陀螺仪的优点，克服了NV?色心金刚石陀螺仪和MEMS陀螺仪的不同误差源影响，具有更高的理论灵敏度和更好的稳定性，具有体积小、成本低、灵敏度高、操作条件简易等优势，对研制新一代基于固体原子自旋效应和MEMS效应的混合陀螺仪有着重要的价值，将服务于未来各个领域特别是低成本的惯性导航和测姿系统。