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专利名称一种MEMS扫描镜
申请日2019-01-14
申请号/专利号CN201910038259.8
专利权人清华大学深圳研究生院
申请人清华大学深圳研究生院
发明人/设计人董瑛;李思萦;王晓浩
公告日2019-04-12
公告号CN109613695A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种MEMS扫描镜,包括两个压电陶瓷块、两个压电驱动臂、两个横梁两个扭转梁和反射镜面,两个压电陶瓷块之间具有间隔距离,两个压电驱动臂分别设置在两个压电陶瓷块上,两个横梁并联连接在两个压电驱动臂之间,两个扭转梁与反射镜面串联连接在两个横梁之间,且反射镜面连接于两个扭转梁之间;两个压电驱动臂所加电压相反,使得两个压电驱动臂产生相反方向的弯曲,带动反射镜面发生偏转;两个压电陶瓷块所加电压相反,使得两个压电陶瓷块在垂直反射镜面方向产生相反方向的形变带动反射镜面发生偏转,并与压电驱动臂引起的反射镜面的偏转角叠加,放大反射镜面的偏转角。该扫描镜能够实现大偏转角,且体积小、可靠性高、结构和制作工艺简单。
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