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专利名称一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置
申请日2019-01-11
申请号/专利号CN201920045431.8
专利权人青岛小优智能科技有限公司
申请人青岛小优智能科技有限公司
发明人/设计人金传广;杜先鹏;郭俊兴;代启强;周印伟
公告日2019-08-23
公告号CN209297040U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型公开了一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置,包括外壳和沿光路依次分布设置的半导体激光器、激光整形系统、双轴MEMS微振镜、反馈系统和驱动控制系统,半导体激光器产生的光束,通过激光整形系统整形后通过双轴MEMS微振镜对外进行投射。双轴MEMS微振镜消除激光散斑,结构简单,而且对激光光源的波长没有要求,任意波长的激光均可实现消散斑效果;双轴MEMS微振镜的X轴做扫描运动,获得所需模式的结构光,结构光模式不限;双轴MEMS微振镜的Y轴做镜面法线方向的上下幅度为波长量级的高频振动,振动频率高于X轴的频率,振动幅度为波长量级,不会对扫描光栅的分布造成影响,实现了获得高光束质量的方法,极大的提高扫描模组的建模精度。
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