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专利名称用于运行可调的光学谐振器的方法和设备以及光学谐振器
申请日2019-01-10
申请号/专利号CN201910022738.0
专利权人罗伯特·博世有限公司
申请人罗伯特·博世有限公司
发明人/设计人C.胡贝尔;C.舍林;C.D.克雷默;R.诺尔特迈尔;R.雷德尔
公告日2019-07-19
公告号CN110031963A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及用于运行可调的光学谐振器的方法和设备以及光学谐振器。本发明涉及一种用于运行可调的光学谐振器(100)的方法(300),其中光学谐振器具有:第一镜面元件(102);在镜面距离方面能相对于第一镜面元件移动地布置的第二镜面元件(104);被分配给第一镜面元件的第一电极(106);和被分配给第二镜面元件的第二电极(112)。第二电极与第一电极对置地来布置,其中通过向第一电极施加交变电位,第二镜面元件能偏移。在该方法中,首先将用于改变镜面距离的驱动交变电位与用于探测镜面距离的探测交变电位叠加,以便获得交变电位。量取附在第二电极上的电极电位。最后,在使用交变电位和电极电位的情况下产生表示镜面距离的距离信号。
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