便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称一种纳米图案的拼接方法、纳米压印板、光栅及制作方法
申请日2019-01-10
申请号/专利号CN201910023266.0
专利权人京东方科技集团股份有限公司
申请人京东方科技集团股份有限公司
发明人/设计人董立文;张笑;贺芳;谢昌翰
公告日2019-04-26
公告号CN109683445A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种纳米图案的拼接方法、纳米压印板、光栅及制作方法,涉及显示技术领域。纳米图案的拼接方法包括:压印区域界定步骤:在形成有第一膜层的衬底基板上形成第二膜层,对第二膜层进行构图,形成区域界定图案;压印图案形成步骤:形成压印胶层,对待压印区域和与待压印区域邻接的部分其他区域进行纳米压印,形成压印图案;刻蚀步骤:以压印图案为掩膜,对待压印区域的第一膜层进行刻蚀,形成纳米图案;去除步骤:采用刻蚀工艺,去除区域界定图案;拼接步骤:重复执行压印区域界定步骤、压印图案形成步骤、刻蚀步骤和去除步骤,形成拼接的第一纳米图案。从而,能形成精度高的纳米图案,制作出大尺寸的纳米图案,成本低廉,制作效率高。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层