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专利名称一种在微生物表面磁控溅射金属镀膜的方法
申请日2013-12-26
申请号/专利号CN201310731360.4
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人蔡军;胡琰琰;张德远;王圆圆
公告日2016-01-20
公告号CN103741107B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种在微生物表面磁控溅射金属镀膜的方法,步骤:1)在基片表面铺铝箔纸;2)在铝箔纸上涂紫外正性光刻胶;3)在该胶表面铺微生物模板颗粒;4)烘烤使胶固化;5)检查磁控溅射仪是否正常;6)开真空室,将基片装在样品台上;7)-15)关真空室,开机械泵、分子泵、流量计、加热器、旋转器、溅射电源,溅射镀膜。镀膜后,关溅射电源、流量计、分子泵、机械泵,开充气阀、真空室,取出基片;16)颗粒单面镀膜结束;17)在基片表面涂负性光刻胶;18)剥下铝箔纸,反转、脱模;19)用紫外光照射基片;20)用正性显影液去除正性光刻胶;21)重复6)-15);22)颗粒双面镀膜结束;23)用负性显影液去除负性光刻胶;24)将颗粒置于无水乙醇分离。
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