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专利名称 | 一种结构紧凑型氮化硅波分复用光子芯片 |
申请日 | 2019-01-10 |
申请号/专利号 | CN201910023555.0 |
专利权人 | 上海理工大学;中国电子科技集团公司第二十七研究所 |
申请人 | 上海理工大学;中国电子科技集团公司第二十七研究所 |
发明人/设计人 | 冯吉军;仲路铭;张福领;曾和平 |
公告日 | 2019-04-05 |
公告号 | CN109581586A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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