本发明涉及一种大口径薄膜衍射透镜微结构刻蚀传递方法及工装，解决了大口径带框薄膜透镜无法通过反应离子刻蚀将光刻胶微结构均匀地传递到薄膜基底上的问题。本发明提供的大口径薄膜衍射透镜微结构传递方法，在传统单频容性耦合大口径反应离子刻蚀设备中即可实现全片高均匀性微结构刻蚀传递，满足大口径薄膜衍射透镜成像衍射效率均匀性要求，可以确保在刻蚀前后大口径薄膜衍射透镜波前畸变不因微结构刻蚀传递过程发生大的波动，全口径刻蚀深度均匀性优于±6％，刻蚀工艺条件稳定易控制，重复性好，可适配多种不同型号的薄膜镜框，操作方便，便于推广。