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专利名称自发光自成像MEMS微镜
申请日2019-01-08
申请号/专利号CN201910014363.3
专利权人全普半导体科技(深圳)有限公司
申请人全普光电科技(上海)有限公司
发明人/设计人汪际军
公告日2019-06-21
公告号CN109917543A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供了一种自发光自成像MEMS微镜,利用可见光发射单元发射可见光光线,利用图像获取单元获取物体的图像信息数据。其中,MEMS扫描微镜芯片上集成了可见光发射单元、图像获取单元,可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而向外界发出可见光光束或接受外界的反射的可见光光束光束,利用反射镜的摆动来实现大量像素的快速生成,从而确保了在实时传输过程中生成的动态图像的分辨率和清晰度;同时实现动态发光,提高发光均匀性,提高图像探测扫描速率,降低光能损耗,提高图像亮度和分辨率。
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