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| 专利名称 | 一种高精度微扫描装置 |
| 申请日 | 2019-01-07 |
| 申请号/专利号 | CN201910014447.7 |
| 专利权人 | 南京理工大学;南京理工晟奥光电科技有限公司 |
| 申请人 | 南京理工大学;南京理工晟奥光电科技有限公司 |
| 发明人/设计人 | 顾国华;朱琳;隋修宝;陈钱;李悟馨;袁锦飞;蔡贵霞;蒋桐;于雪莲;钱惟贤;何伟基;花睿 |
| 公告日 | 2019-03-19 |
| 公告号 | CN109491078A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
摘要
本发明公开一种高精度微扫描装置，包括与微扫描机构框架(12)内侧固定连接的第一压电陶瓷(10)和第二压电陶瓷(11)，还包括二维位移框架(1)、第一柔性铰链(2)和第二柔性铰链(3)；所述二维位移框架(1)一端通过第一柔性铰链(2)与第一压电陶瓷(10)相连，二维位移框架(1)与此相邻的另一端通过第二柔性铰链(3)与第二压电陶瓷(11)相连；所述第一柔性铰链(2)与第二柔性铰链(3)相互垂直。本发明的高精度微扫描装置，位移精度高、结构简单。
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