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专利名称立方氮化硼涂层刀具的制备方法
申请日2013-12-12
申请号/专利号CN201310672421.4
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人徐锋;刘召志;唐晓龙;黄宇峰;左敦稳
公告日2016-02-03
公告号CN103628036B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种立方氮化硼涂层刀具的制备方法,其特征是它包括:Si3N4陶瓷衬底的预处理;将衬底放入热丝化学气相沉积设备中沉积掺硼金刚石;对沉积好的薄膜样品放入直流等离子体喷射化学气相沉积设备中在30~40V正偏压下进行刻蚀清洁表面预处理30~45s,接着沉积立方氮化硼涂层,具体参数:BF3,N2,Ar和H2的流量分别为20sccm、2slm、3slm、4sccm,总的反应气压为4kPa,衬底负偏压为65V,衬底温度为860?C,沉积时间为50min。本发明工艺简单、操作较容易,涂层与基底结合性能得到明显提升。
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