本发明实施例提供一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包括沿光轴顺次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、光阑、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组，所述第一透镜组与所述第六透镜组关于所述光阑对称，所述第二透镜组与所述第五透镜组关于所述光阑对称；所述第三透镜组和所述第四透镜组关于所述光阑对称；其中，f1为所述第一透镜组以及所述第六透镜组的焦距，f2为所述第二透镜组以及所述第五透镜组的焦距，f3为所述第三透镜组以及所述第四透镜组的焦距。本发明实施例提供的一种光刻投影物镜，采用球面透镜设计透镜数量少降低了加工制造成本，增大了数值孔径并且适用于ghi三线波段，扩展了投影物镜的适用场景，提高了光刻机的分辨率。