本发明提供的一种复合硅基波导结构，包括：弱束缚波导，包括第一芯层，所述第一芯层与弱束缚波导的模场直径匹配；强束缚波导，包括第二芯层以及覆盖所述第二芯层的顶部及侧壁的所述第三芯层；模斑转换结构，包括相连的、分别与所述弱束缚波导和所述强束缚波导连通的弱束缚部和强束缚部；所述弱束缚部和所述强束缚部分别为与所述弱束缚波导和所述强束缚波导一致的波导结构。